上海工研院提供MEMS晶圓測試服務
	
可測試的器件類型有:加速度計、陀螺儀、硅麥克風和壓力傳感器等
	
可測試的參數包括:
	
	漏電流
	電容
	其它靜態參數
	諧振頻率
	品質因素
	阻尼系數
	正交誤差
其它動態參數
	
主要設備: STI3000全自動探針臺
設備介紹:
通過STI3000全自動探針臺,提供晶圓的接觸測試、功耗測試、輸入漏電測試、輸出電
平測試、全面的功能測試、全面的動態參數測試以及模擬信號的參數測試等。
STI3000晶圓探針臺的主要特征參數:
Wafer Size Range: 75mm - 150mm
Cassette to Cassette
Temperature Control Chuck optional
Automatic Alignment
OCR Camera
Dimensions: 53" x 32" x 56"
Weight: 770 lbs