納米真空互聯實驗站2013年啟動籌建，依托中科院蘇州納米技術與納米仿生研究所，由江蘇省、中科院、蘇州市及蘇州工業園區四方共建，是世界首個集材料生長、器件加工、測試分析為一體的納米領域大科學裝置，旨在建立一個真空環境下從材料、器件、封裝到測試的綜合研究設施，提供多種極端條件下材料、結構和性能關系的科學研究平臺，挑戰現有器件的物理極限、創新能源和信息領域核心器件的技術路線，加深人們對物質世界微觀本質的認識，引發納米器件從基礎科學研究到大規模產業發展的工業革命。截至2019年底，擁有全職職工和學生60余人，其中正高級職稱6人，中科院“百人計劃”2人，博士學歷14人，形成了一支建設能力突出和結構合理的優秀中青年支撐團隊。